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电容式加速度传感器工作原理

更新时间:2021-07-01   点击次数:2907次

电容式加速度传感器,多种量程可选:2g/5g/10g/30g/50g/100g/200g低频振动,倾斜测量MEMS加速度传感器,采用变电容原理(当敏感元件受到加速度作用产生偏移,引起电容成比例变化);该传感器MEMS敏感元件具有良好的低频和直流响应特性,体积小、重量轻、全密封、壳体硬质铝氧化可靠隔离,特别适合于分析低频或恒定加速运动。

主要技术指标

 

灵敏度(20±5

1000 mV/g

测量范围(峰值)

±1 g

大横向灵敏度

≤5 

频率响应(-3dB)

0~ 800 Hz

非线性

≤0.5

工作温度范围

-40+120 

温度响应                            

见温度曲线

冲击极限(无供电)

5000 g

灵敏度温度系数

0.3 %/

噪声

45 ug/√Hz

输出阻抗

100 Ω

供电电源

+6+16 VDC

工作电流

≤5 mA

g偏置电压

2.5±0.1 V

安装

4-φ2.8

壳体材料

不锈钢

重量

20 g

输出方式

整体三芯屏蔽电缆线 

红线:正电源;白线:地;绿线:输出

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